常見的真空泵種類有哪些?

發（fā）布時間：

2022-07-08

真空泵種類有很多，按工作（zuò）原理可以分（fèn）為（wéi）：氣體輸送泵（bèng）和氣體捕集泵；按（àn）真空度（dù）可以分為（wéi）：粗真空度（dù）、高真空度（dù）和超高真空度。按工作原理分：一、氣體輸送泵：1、變容真空泵1）往複式2）旋片式： （1）油封式：旋片、滑閥式、定片式、餘擺線式、多室旋片式； （2）幹式螺（luó）杆； （3）液環式； （4）羅茨真（zhēn）空泵；2、動量傳輸泵1）分子真空泵：牽引分子泵、渦輪分子泵、複合分子泵；2）噴射真空泵：液體噴射真（zhēn）空泵、氣體噴射真空泵、蒸汽噴射真空泵；3）擴散泵：自淨化擴散泵、分餾（liú）式擴散泵；4）擴散噴射泵；5）離子（zǐ）輸運泵；二、氣（qì）體捕集泵1、吸（xī）附（fù）泵；2、吸氣劑泵；3、吸氣劑離子泵（bèng）：蒸發（fā）離子泵、濺射離子泵；4、低溫泵；

常見的（de）真空（kōng）泵種類有哪些?

真空泵種類有很（hěn）多，按工作（zuò）原理可以分為：氣體（tǐ）輸送泵和氣體捕集泵；按真空度可以分為：粗真空度、高真（zhēn）空度和超高（gāo）真空度（dù）。

按（àn）工（gōng）作原理分（fèn）：

一、氣（qì）體（tǐ）輸送泵：

1、變容真空泵

1）往複式

2）旋片式：
（1）油封式：旋片、滑閥（fá）式、定片式、餘擺線式、多室旋片式；
（2）幹（gàn）式螺杆；
（3）液環式；
（4）羅茨真空泵；

2、動量傳輸泵

1）分子真空泵：牽引分子泵、渦輪分子（zǐ）泵、複合分子泵；

2）噴射（shè）真空泵：液體噴射真空泵、氣體（tǐ）噴射真空泵、蒸汽噴（pēn）射真空泵；

3）擴（kuò）散泵：自淨化（huà）擴散（sàn）泵、分餾式（shì）擴散泵；

4）擴散噴射泵；

5）離子輸運泵；

二、氣體捕集泵

1、吸附泵；

2、吸氣劑泵；

3、吸氣劑（jì）離子泵：蒸發離子泵、濺射離子泵；

4、低溫泵（bèng）；

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